工业废气处理设备采用低温等离子体高压放电，电场吸附有害有毒气体在吸烟板上，在叠加脉冲作用下打开分子键、激活自由基、释放臭氧，通过化学反映，自由结合，产生二氧化碳和水，对人体无害的同时，还在设备前后设置了各种过滤材料，针对不同废气的装置，确保完全彻底的净化效果。

催化燃烧有机废气处理设备所发生的气—固相催化反应的实质是活性氧参与的深度氧化作用。在催化燃烧过程中，催化剂的作用是降低活化能，同时催化剂表面具有吸附作用，使得反应物富集于表面。借助催化剂的作用使得废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰燃烧，并氧化分解为CO2和H2O，同时放出大量的热能，从而达到有机废气处理设备处理有害物质的目的。